企業情報

設立以来、化合物半導体用を含む半導体・電子部品製造装置のメーカーとして活動してきた。主力は最先端デバイス向け薄膜形成・加工であり、CVD、エッチング、洗浄装置の提供に特化している。従来は研究開発向けが主力であったが、最近では量産用にも力を入れ、業績が大きく成長した。産学連携も積極的に行い、国内外の大学との共同研究開発を推進している。また、欧州の洗浄装置メーカーを買収し、欧州市場でも自社製品を展開している。さらに、2022年7月には印ベンガロールに拠点を設立し、医療機器分野にも進出する計画を立てている。